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ウェハ薄化前の半自動ウェハラミネーター
3軸円筒座標型クリーンロボット（防水対応）
半自動ウェハ仮ボンディング装置
4軸円筒座標型クリーンロボット
4軸水平多関節型クリーンロボット
半自動ウェハ仮デボンディング装置
床置き型半自動ウェハラミネーター