JEL SCR3160CSN
3軸円筒座標型クリーンロボット(クローズドループ制御)
特徴です
クローズドループ制御のロボットに、疑似多軸仕様をラインナップ
クリーンルーム内に適用する3軸円筒座標型クリーンロボット
低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～12インチウェーハ対応の新型シングルアームアームロボットです
アブソリュートエンコーダを搭載することにより、現在位置を把握し、原点復帰が不要
バッテリ不要な機械式多回転アブソリュートエンコーダを搭載
可搬重量：アーム第3関節換算3 kg
アームバリエーション：100 mm, 130 mm, 160 mm, 200 mm
装置レイアウトに合わせたベースタイプ、フランジタイプの装置への固定方法を選択可能
ベルヌーイチャック搭載可能（オプション）